華海清科

華海清科股份有限公司是一家擁有核心自主知識產(chǎn)權(quán)的高端半導(dǎo)體設(shè)備制造商，主要從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售及技術(shù)服務(wù)，主要產(chǎn)品為化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）設(shè)備。公司的主要產(chǎn)品為擁有核心自主知識產(chǎn)權(quán)的CMP設(shè)備。公司也榮獲“天津市科學(xué)技術(shù)獎（技術(shù)發(fā)明）一等獎”、“中國機(jī)械工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎（技術(shù)發(fā)明）特等獎”、“2018年度、2019年度中國半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)獎”、“中國好設(shè)計金獎”等榮譽。截至2021年12月31日，公司擁有國內(nèi)外授權(quán)專利209項，其中發(fā)明專利114項、實用新型專利95項，擁有軟件著作權(quán)7項；公司CMP設(shè)備已累計出貨超140臺，未發(fā)出產(chǎn)品的在手訂單超70臺，設(shè)備已廣泛應(yīng)用于中芯國際、長江存儲、華虹集團(tuán)、英特爾、長鑫存儲、廈門聯(lián)芯、廣州粵芯、上海積塔等國內(nèi)外先進(jìn)集成電路制造商的大生產(chǎn)線中。